Inlens 探測(cè)器均放置 在鏡筒內(nèi)正光軸上， 在減少重新校準(zhǔn)耗時(shí) 的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。 Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運(yùn)動(dòng)時(shí)始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設(shè)定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計(jì)、 Inlens 探測(cè)器和電子 束推進(jìn)器技術(shù)。

Gemini 2 型電子光學(xué)鏡筒讓 GeminiSEM 460 成為高束流下獲取高分辨率成像和快速 分析的理想之選。另外，它還集上一代 Gemini 光學(xué)系統(tǒng)的所有優(yōu)勢(shì)于一身。例如， 確保了大視野范圍內(nèi)的無(wú)畸變 EBSD 分析和 高分辨率成像的物鏡無(wú)漏磁設(shè)計(jì)。
因此您也能夠在不影響電子光學(xué)性能的前 提下傾斜樣品， 甚至還能輕松完成磁性樣 品成像。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過(guò)優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布， 獲得出色的信號(hào) 探測(cè)效率， 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級(jí)分辨率。具體來(lái)說(shuō)， 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場(chǎng)降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像， 而無(wú)需將樣品浸沒(méi)在電磁場(chǎng)中。

智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合，新的智能自動(dòng)光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點(diǎn)：
? 通過(guò)聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會(huì)聚角，在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。

? 通過(guò) Nano-twin 物鏡實(shí)現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過(guò)新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無(wú)縫過(guò)渡
? 通過(guò)新的自動(dòng)聚焦功能和新的快速鏡筒對(duì) 中算法實(shí)現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。

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