半導(dǎo)體IC制程主要以20世紀(jì)50年代以后發(fā)明的四項(xiàng)基礎(chǔ)工藝(離子注入、擴(kuò)散、外延生長及光刻)為基礎(chǔ)逐漸發(fā)展起來,由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當(dāng)微細(xì),因此制造過程中,如果遭到塵粒、金屬的污染,很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞,形成短路或斷路等,導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫?cái)U(kuò)散、離子植入前等均需要進(jìn)行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學(xué)溶液或氣體清除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機(jī)物之雜質(zhì)。
PTFE材料具有固體材料中小的表面張力,不粘附任何物質(zhì),同時(shí)還具有耐高低溫優(yōu)良的特性,從而使其在諸如制造不粘鍋的防粘方面的應(yīng)用非常廣泛。其防粘工藝主要包括兩種:把PTFE部件或薄片安裝在基體上,以及把PTFE涂層或與玻璃復(fù)合的漆布經(jīng)過熱收縮而套在基材上。
除熔融金屬鈉和液氟外,和一切化學(xué)藥品不反應(yīng)。在化工生產(chǎn)中,用做設(shè)備襯里、分餾塔、波紋管、泵、閥門、密封墊片等;機(jī)械工業(yè)上,用做密封件、活塞環(huán)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸承等;電子工業(yè)上,用于電子計(jì)算機(jī)信號線絕緣、電纜絕緣、高頻電子儀器絕緣以及制造高頻電纜、電容器、導(dǎo)線等