廣電計(jì)量提供覆蓋被動(dòng)元件、分立器件和集成電路在內(nèi)的元器件破壞性物理分析(DPA)服務(wù),其中針對半導(dǎo)體?藝,具備覆蓋7nm以下芯片DPA分析能?,將問題鎖定在具體芯片層或者μm范圍內(nèi),針對有水汽控制要求的宇航級空封器件,提供PPM級內(nèi)部水汽成分分析,空封元器件特殊使用要求。
電子元器件制造?藝質(zhì)量?致性是電子元器件滿足其用途和相關(guān)規(guī)范的前提。?量假冒翻新元器件充斥著元器件供應(yīng)市場,如何確定貨架元器件真?zhèn)问抢_元器件使用方的?大難題。廣電計(jì)量DPA分析測試能解決這一系列問題,其中檢測項(xiàng)目包括:
●非破壞性項(xiàng)目:外部目檢、X?射線檢查、PIND、密封、引出端強(qiáng)度、聲學(xué)顯微鏡檢查;
●破壞性項(xiàng)目:激光開封、化學(xué)開封、內(nèi)部?體成分分析、內(nèi)部目檢、SEM檢查、鍵合強(qiáng)度、剪切強(qiáng)度、粘接強(qiáng)度、IC取芯片、 芯片去層、襯底檢查、PN結(jié)染?、DB FIB、熱點(diǎn)檢測、漏電位置檢測、彈坑檢測、ESD測試
對于DPA中暴露的問題,只要元器件承制廠所與DPA實(shí)驗(yàn)室緊密結(jié)合,進(jìn)行分析與跟蹤,準(zhǔn)確找出導(dǎo)致缺陷產(chǎn)生的原因,采取有針對性的整改措施,則大多數(shù)缺陷模式是可以得到控制或消除的。
破壞性物理分析(DPA)技術(shù)不但適用于J用電子元器件,而且也同樣適用于民用電子元器件,如采購檢驗(yàn)、進(jìn)貨驗(yàn)貨及生產(chǎn)過程中的質(zhì)量監(jiān)測等均可應(yīng)用DPA技術(shù)。
廣電計(jì)量破壞性物理分析(DPA)測試能夠?yàn)镴品及民品企業(yè)提供一站式服務(wù),報(bào)告可靠。
廣電計(jì)量集成電路失效分析實(shí)驗(yàn)室,配備了完善的DPA分析測試設(shè)備(如3D解析顯微鏡、X射線透射儀、超聲掃描顯微鏡、場發(fā)射掃描電子顯微鏡、TEM透射電子顯微鏡、水汽分析儀、各類檢漏儀等),具備非破壞性和破壞性測試的DPA分析能力。
DPA分析是對潛在缺陷確認(rèn)和潛在危害性分析的過程,一般是在在元器件經(jīng)過檢驗(yàn)、篩選和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)后對元器件內(nèi)部存在的缺陷進(jìn)行分析,這些缺陷可能會(huì)導(dǎo)致樣品的失效或不穩(wěn)定。與其他分析技術(shù)不同的是,DPA分析是對元器件進(jìn)行的事前預(yù)計(jì)(而失效分析FA是事后檢查)。在元器件生產(chǎn)過程中以及生產(chǎn)后到上機(jī)前,廣電計(jì)量DPA分析技術(shù)都可以被廣泛地使用,以檢驗(yàn)元器件是否存在潛在的材料、工藝等方面的缺陷。
電子元器件制造?藝質(zhì)量?致性是電子元器件滿足其用途和相關(guān)規(guī)范的前提。?量假冒翻新元器件充斥著元器件供應(yīng)市場,如何確定貨架元器件真?zhèn)问抢_元器件使用方的?大難題。廣電計(jì)量DPA測試確定元器件在設(shè)計(jì)和制造過程中存在的偏差和工藝缺陷,提出批次處理意見和改進(jìn)措施等多方面的檢測分析需求。