銥粉回收的深共晶溶劑技術(shù)
新型溶劑(ChCl-urea 1:2)的特性:
溶解性能:
60℃下Ir溶解率92%(傳統(tǒng)酸液的70%)。
環(huán)保優(yōu)勢:
可生物降解,COD值<50mg/L。
成本對比:
項(xiàng)目 王水工藝 深共晶溶劑
試劑成本(元/kg) 380 120
廢處理成本 高 可忽略
工業(yè)障礙:溶解速度較慢(需4-6h),正在研發(fā)超聲強(qiáng)化方案。
銥粉回收, 銥粉在半導(dǎo)體封裝中的回收技術(shù)
半導(dǎo)體封裝用銥濺射靶材(純度>99.995%)的回收工藝:
廢料特征:
靶材殘體含Ir 85-92%,摻雜Al?O?或SiO?散熱層。
分離技術(shù):
高壓水射流(350MPa)剝離陶瓷層(效率>99%)。
真空感應(yīng)熔煉(1600℃)去除氧化物夾雜。
再生標(biāo)準(zhǔn):
參數(shù) SEMI F47標(biāo)準(zhǔn) 再生靶材
電阻率(μΩ·cm) ≤5.3 5.1
晶粒尺寸(μm) 10-50 35
市場影響:臺積電采用該技術(shù)后,靶材采購成本下降28%。
銥粉回收銥粉在高溫合金3D打印中的回收技術(shù)
增材制造用銥基高溫合金(如Ir-10Ni)粉末的回收方案:
廢粉特征:
氧含量高達(dá)8000ppm(因多次循環(huán)打?。?。
衛(wèi)星球(satellite particles)占比15-20%。
再生工藝:
氫還原(600℃/4h)將IrO?轉(zhuǎn)化為金屬Ir。
等離子球化(Ar/H?等離子炬)重塑顆粒形貌。
性能對比:
參數(shù) 新粉 再生粉
流動性(s/50g) 22 25
打印件密度(%) 99.3 98.8
高溫強(qiáng)度(MPa) 420 405
經(jīng)濟(jì)性:再生粉成本降低60%,已用于GE航空LEAP發(fā)動機(jī)部件制造。
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