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整個爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外，整個爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方，即不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕，還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上，從而確保了該爐的使用壽命，使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上，另外還可對硅晶體的生長過程起 到穩(wěn)定作用，使平均成品率從原來的65%提高68%以上，并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對通氣孔與該爐的 一對排氣口相 對設(shè)置，縮短了排氣管路，利于提高排氣效率。
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真空技術(shù)在冶金、化工、輕工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域得到了十分廣泛的應(yīng)用，然而在這些領(lǐng)域大都存在塵埃對真空系統(tǒng)的危害問題。為保護(hù)真空系統(tǒng)或真空泵不受粉塵和固體顆粒污染和損壞，管路中需配置真空除塵器和真空過濾器。它們可保護(hù)真空閥門不被阻塞，避免閥板關(guān)閉不嚴(yán)造成漏氣，保護(hù)測量壓力的真空規(guī)管不受污損，防止泵受損而工作失常等，對真空設(shè)備的凈化和平穩(wěn)、持續(xù)工作均很重要。除塵機(jī)理及過程從氣體中捕集分離粒子的除塵機(jī)理，主要有以下幾個方面:、重力氣流中的塵?？梢砸揽恐亓ψ匀怀两担瑥臍饬髦羞M(jìn)行分離。由于塵粒的沉降速度一般較小，這個機(jī)理只適用于粗大的塵粒、離心力利用機(jī)械力來捕集分離含塵氣流中的粉塵，離心力除塵裝置是其中有效的除塵裝置。它對粒徑較小塵粒的分離捕集非常有效。含塵氣流作圓周運動時，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，在本實施例中，所述副爐室升降驅(qū)動裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)一致，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上，以便通過接晶托電機(jī)154驅(qū)動托板153旋轉(zhuǎn)，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側(cè)，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
所屬分類：設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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