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實際上就目前而言,絕大多數(shù)半導體材料生產(chǎn)過程中都會用到超純水系統(tǒng)清理,各個部位產(chǎn)品工件跟水直接使用觸碰,未經(jīng)處理的水中的雜質(zhì)也會降低設備性能進而影響出產(chǎn)量。***生產(chǎn)中水的品質(zhì)是半導體制造的重要一步。大家傳統(tǒng)超純水系統(tǒng)生產(chǎn)工藝流程一般是采用陰離子樹脂交換設備,此項加工工藝有著一定的缺點,便是環(huán)氧樹脂使用過一段時間之后要進行再造,而隨著近幾年來膜分離設備的走向成熟有關工藝技術的發(fā)展,大家慢慢擺脫了前面一種逐漸接受新的反滲透工藝。整套設備出水電導率能夠達到0.5千歐~18.25千歐。
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