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超聲掃描顯微鏡
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超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。
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