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美國(guó)光刻膠AZNLOF2020電子光刻膠

更新時(shí)間:2025-09-02 [舉報(bào)]

廈門光刻膠   美國(guó)光刻膠

  • AZ NLOF2020是一種?負(fù)性光刻膠?,通過(guò)紫外光曝光后發(fā)生交聯(lián)反應(yīng),曝光區(qū)域在顯影液中保留,未曝光區(qū)域被溶解。其特點(diǎn)是?高深寬比?和?陡直度?(接近垂直襯底表面),適用于圖形轉(zhuǎn)移

  • ?物理狀態(tài)?:無(wú)色透明液體,化學(xué)穩(wěn)定性良好,適配多種基材(如硅、玻璃等)

  • ?分辨率?:未明確提及具體數(shù)值,但同類負(fù)膠通常支持亞微米級(jí)圖形(≥1μm線寬)

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  • ?顯影液?:推薦?MIBK混合溶液?,顯影時(shí)間需優(yōu)化(通常20-60秒

    • 電子光刻膠制造(如高深寬比結(jié)構(gòu)剝離工藝)

    • 粘合劑、涂料及油墨的微細(xì)圖形化

  • ?配套工藝?:需搭配?HMDS增粘劑?預(yù)處理基板,提升附著力



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